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CMP研磨液中的添加劑混合物的測定 沃特世Arc HPLC?效液相?譜系統(tǒng)

日期:2025-07-02 06:01:11     瀏覽:754    下載:0     體積:0.99M    

  【儀器網(wǎng) 行業(yè)應用】沃特世采用Arc HPLC?效液相?譜系統(tǒng)連接光電?極管陣列(PDA)和單四極桿質(zhì)譜檢測器(ACQUITY QDa)僅需15分鐘即可分析CMP研磨液中的單個添加劑或添加劑混合物。

  只需很少的樣品制備步驟:添加劑的稀釋和進樣,CMP研磨液的離?、稀釋和進樣;

  PDA能夠輕松檢測到低濃度下對紫外線(UV)活性的添加劑,并進?定量分析;

  質(zhì)譜檢測器ACQUITY QDa可以針對更復雜的添加劑進?定性分析。

  實 驗

  樣品描述

  市售樣品和標準品(購?德國默克)的詳細信息如表1所示。

  除CMP研磨液外,所有采購的化學品均溶于10 mM甲酸銨中,濃度為1 mg/mL。將CMP研磨液在4 oC溫度下以2,200 rpm離?20分鐘,并將最上?的4 mL上清液傾倒?20 mL閃爍瓶中,?10 mM甲酸銨將稀釋?濃度為6.5 mg/mL。

  在表2列出的不同濃度下,對各單標進?連續(xù)稀釋分別得出校準曲線,然后將其?對?地組合成CMP添加劑混合物(混合物A),并對混合物A進?連續(xù)稀釋,得出校準曲線。最后,使?Ludox?上清液稀釋混合物A,制成混合物B稀釋系列,?于計算加標到Ludox上清液基質(zhì)中的添加劑的回收率。實驗方法和具體參數(shù)請至文末查看原文獲取。

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