【儀器儀表網(wǎng) 政策標(biāo)準(zhǔn) 1hsqw.com】中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)稱，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)正式公布了一個(gè)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：“基于測(cè)長(zhǎng)掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評(píng)測(cè)方法”。該標(biāo)準(zhǔn)是由中科大丁澤軍團(tuán)隊(duì)為主導(dǎo)制定的。據(jù)媒體報(bào)道，該類標(biāo)準(zhǔn)是屬于半導(dǎo)體檢查測(cè)量領(lǐng)域由中國(guó)為主導(dǎo)制定的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。

　　半導(dǎo)體檢測(cè)測(cè)量技術(shù)對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的未來(lái)發(fā)展起著尤為重要的作用?，F(xiàn)階段，丁澤軍團(tuán)隊(duì)發(fā)展了專業(yè)的用以掃描電子顯微術(shù)和表面電子能譜學(xué)的MonteCarlo模擬計(jì)算方法，并融合了“基于模型數(shù)據(jù)庫(kù)”(MBL)方法，明確提出了“基于測(cè)長(zhǎng)掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評(píng)測(cè)方法”的ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(IS)。

　　標(biāo)準(zhǔn)指定了利用CD-SEM成像表征刻蝕線寬的結(jié)構(gòu)模型及其相關(guān)參數(shù)、MonteCarlo模擬模型和成像掃描線計(jì)算方法、圖像匹配擬合程序和CD參數(shù)定值法等內(nèi)容。與傳統(tǒng)意義的方法相比較，該方法可以得出精確的CD值，而且把線寬精確測(cè)量從單一參數(shù)擴(kuò)展到包含結(jié)構(gòu)形貌特征的信息，比較適用于如晶圓上的柵極、光掩模、尺寸小至10nm的單個(gè)孤立的或密集的線條特征圖案。該標(biāo)準(zhǔn)不但為半導(dǎo)體刻蝕線寬的CD-SEM精確評(píng)測(cè)明確了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，也為一般納米級(jí)尺寸的其它測(cè)量方法給予了參照。